00883naa#a2200169#i#450# RU\\bibl\82517 20241203205837.2 2782-1900 20211223b2021####ek#y0rusy0150####ca RU Роль химических процессов при технологической обработке арсенида галлия в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы пониженного давления в хлоре Журнальная статья Ярославль Ярославский государственный технический университет 2021 8 с. Журнальная статья local средняя. 66-914.5 Ситанов Дмитрий Вячеславович chemintech.ru