LDR 00883naa#a2200169#i#450#
001     RU\\bibl\82517
005     20241203203441.2
011 ## _a2782-1900
100 ## _a20211223b2021####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aРоль химических процессов при технологической обработке арсенида галлия  в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы пониженного давления в хлоре
       _eЖурнальная статья
210 1# _aЯрославль
       _cЯрославский государственный технический университет
       _d2021
215 ## _a8 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aсредняя. 66-914.5
       _z
700 #1 _aСитанов
       _gДмитрий Вячеславович
856 4# _achemintech.ru
       _u